Abréviations couramment utilisées pour les activités de fabrication de semi-conducteurs pour l’unité de ventilation
Son principal processus de travail est le suivant :
(1) Par le processeur de climatisation vers l’air (air frais) traité dans le point d’état requis, envoyé à la boîte à pression statique et au mélange d’air de retour, puis après que le ventilateur de l’unité de filtrage pressurisée par un filtre à haute efficacité (HEPA) ou ultra haute efficacité (ULPA) ait été filtré dans la salle blanche ;
(2) l’air ancien d’origine à travers le plancher surélevé ou la paroi latérale est livré vers les serpentins secs, dans les serpentins secs lors du traitement froid (chaud), puis par le dos vers la machine pressurisée renvoyé vers la boîte à pression statique, ce qui complète le processus.
(3) Après un traitement à froid (chaud) dans la bobine sèche, il est renvoyé dans la boîte à pression statique par la presse de retour, ce qui complète tout le cycle de filtration de l’air dans la salle blanche.
Un tel système est le plus souvent utilisé dans des endroits où il y a besoin de salles blanches ultra-silencieuses, comme les salles blanches pour fabriquer de grandes plaquettes de circuits intégrés, les écrans TFT, les disques durs à semi-conducteurs, etc.
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Cette fois, nous introduisons la terminologie utilisée dans les applications des semi-conducteurs :
Centrale centrale CUP
Eaux usées organiques de l’OWW
DAHW Drainez les déchets d’hydrure d’amonie
Eaux usées à acide phosphorique PAW
Boîte de collecteur de soupapes VMB
